Problem: Wavelength has been scaling at a slower rate than the IC feature size.
问题: 光学波长微缩的速度跟不上IC尺寸微缩的速度.
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Resolution-the smallest feature size on your object that the imaging system can distinguish.
分辨率 - 成像系统能够分辨你的目标物上最小的特征大小.
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集成电路特征尺寸的缩小,不断促进新一代光刻技术的研究和开发.
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相关要求是尺寸要素的尺寸公差与其相应的中心要素的形位公差相互有关的设计要求,包括:包容要求、最大实体要求和最小实体要求。
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Feature: 1. Sheet-fed front edge suction for various sheet size . 2.
特性: 1. 单张式前缘自动送纸,合用多样纸张比例.
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米氏(Mie)散射理论是另一个经典的光散射理论,它最大的特点是可用于任何尺寸段颗粒的测量,但是其复杂的计算过程限制了它的应用。
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缺陷特征参数的定量计算可以为工件的修复等提供准确的位置参数和缺陷的大小信息。
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Feature: Full automatic control, easy operation, small size and high efficiency.
特点: 全自动控制, 操作简单, 体制小,不占空间,生产效率高.
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氧当量为0.23%的试样断口上韧窝大小不均,出现局部的准解理特征,合金塑性较差。
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第三章:建立圆柱要素尺寸公差、形状公差、定向公差和定位公差的数学模型。
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结论腹腔镜下子宫切除手术具有微创效优的特点,不同术式适于不同年龄、不同子宫大小及不同的疾病,值得临床推广应用。
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